11 月28 日，广东省科学院半导体研究所牵头承担的广东省重点领域研发计划“高精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制”项目验收会在半导体所第一会议室召开，省科学院半导所副所长黄晋强、集成电路装备领域五位验收专家、项目团队主要成员、项目管理单位有关人员参加会议，会议由广东省科技厅项目专员及验收专家组组长主持。
项目负责人从项目背景、研究进展、成果取得、经费使用等方面进行了详细汇报，并提供项目实施工作总结报告、测试报告、专项资金审计报告等。验收专家组在听取项目汇报和实验室现场检查后，经充分质询和讨论，认为该项目各项研究任务指标完成度高，一致同意通过验收。
项目研制的高精度大扫描场聚焦偏转系统为电子束光刻机核心零部件，在小束斑形成和大扫描场下的束斑控制，光刻图形生成和处理方面展现出优势，为我国研制拥有完全自主知识产权的电子束光刻整机设备提供关键支撑。
（供稿：科研业务部）
